一、行業簡介
半(bàn)導(dǎo)體、集(jí)成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件(jiàn)、微電子工(gōng)業、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水(shuǐ)、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電(diàn)子(zǐ)工業部(bù)把電子級水質技術分為五個行業等級(jí),分別為(wéi)18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質(zhì)。
二、應用範圍
1、電子、電力、電鍍(dù)、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域(yù)。
2、化工工(gōng)藝用水、化學藥劑、化妝品等用(yòng)純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導(dǎo)體(tǐ)芯片、半導體封裝 、引線櫃架、集(jí)成(chéng)電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光(guāng)通(tōng)信、電腦元件(jiàn)、電容器潔淨產品(pǐn)及各(gè)種元(yuán)器件等生產(chǎn)工藝用純水。
三、工藝簡介
1、係統模(mó)塊化設計,共分四部分:預處理係統、反滲透係統、EDI係統、終端(duān)供水係統。
2、預處理係統主要用來去除(chú)原水中的懸浮物、濁度、色度、膠體以及部分(fèn)有(yǒu)機物,保證(zhèng)產(chǎn)水符合反滲透係統的進水水質要求。
3、反滲透係統主要用來去除(chú)原水(shuǐ)中溶解性鹽類物(wù)質、細菌、熱源等,保證產水符合EDI係統進水水質(zhì)要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進(jìn)行進一步脫除溶解性的小分子鹽類(lèi)物質,產水達到電阻率達到15MΩ.cm以上。
5、終端供水係統主要是用來將合格水輸送至(zhì)用水點,輸送過程中對EDI產生進行最後的離子交換(huàn)脫鹽,使得產(chǎn)水達到電阻率達到(dào)18MΩ.cm以上。
6、整個係統進行集(jí)中控製。
四、技術特色
1、係統模塊化設計(jì),占(zhàn)地麵積小,操作維護方便(biàn),安裝方便快捷,整體美觀。
2、整套係統實(shí)現全自動化運行,並且手動與自(zì)動自由切換。
3、設備產水水質穩定,運行連續穩定。
4、係統工藝先進,無需化學藥品再(zài)生,無危害性廢液排放。
5、係(xì)統節水率高,係(xì)統回收率在75%以上。
6、關鍵部位采用在線儀表監(jiān)測,適時數據上(shàng)傳。
五、設備參數
1、係統回收率(lǜ):
超(chāo)濾≥90%
一級反(fǎn)滲透≥75%
二級反滲透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產水符合《電子超純水國家標準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美(měi)國半導體工業(yè)純水指標。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。